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专利展示
专利库
开放许可专利
一种PVT法生长AlN单晶的籽晶固定装置
专利信息
专利权人：山东大学
第一发明人：张雷
专利号：ZL202323028592.1
授权日：2024-5-24
专利类型：实用新型
国别：中国
专利简介
专利权人
山东大学
第一发明人
张雷
专利号
ZL202323028592.1
授权日
2024-5-24
专利类型
实用新型
国别
中国
所属领域
开放许可开始日期
开放许可截止日期
单次许可期限
许可费支付方式
本实用新型提供了一种PVT生长AlN单晶的籽晶固定装置,包括同心设置的籽晶托、上环板和下环板;所述籽晶托下表面粘接籽晶;所述上环板和下环板分别夹持在所述籽晶托边部上下两侧,所述下环板的上表面与所述上环板的下表面相贴合;所述上环板和下环板的内周分别设置有多个与籽晶边部相适配的环形凹台。所述籽晶固定装置呈同心圆状,易加工;不仅能够有效地防止籽晶掉落,同时固定籽晶位置,保证籽晶位置不偏移或波动,还能抑制钨件在升温过程中导致的热变形,从而有效卸去籽晶托在升温过程中产生的热应力,防止籽晶的开裂。
