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专利展示
专利库
开放许可专利
一种半导体加工晶圆超声悬浮驱动装置
专利信息
专利权人：山东大学
第一发明人：吴疆
专利号：ZL202210652114.9
授权日：2024-5-3
专利类型：发明
国别：中国
专利简介
专利权人
山东大学
第一发明人
吴疆
专利号
ZL202210652114.9
授权日
2024-5-3
专利类型
发明
国别
中国
所属领域
开放许可开始日期
开放许可截止日期
单次许可期限
许可费支付方式
本发明涉及一种半导体加工晶圆超声悬浮驱动装置,包括连接在振子模块顶部的弯振换能器和纵振换能器,弯振换能器和纵振换能器同圆心布置且两者处于同一高度平面。通过同圆心布置的纵振/弯振换能器形成晶圆自旋平台,通过发射纵向驻波和弯曲行波驱动晶圆悬停与旋转,实现装置对晶圆的非接触、无磨损的自旋和悬停控制,从而提高晶圆加工过程中的良品率。
