一种环路热管

专利信息

专利权人:山东大学

第一发明人:郭春生

专利号:ZL202110105492.0

授权日:2024-5-17

专利类型:发明

国别:中国

专利简介

专利权人 山东大学 第一发明人 郭春生
专利号 ZL202110105492.0 授权日 2024-5-17
专利类型 发明 国别 中国
所属领域 开放许可开始日期
开放许可截止日期 单次许可期限
许可费支付方式
本发明提供了一种环路热管,包括下层板、中层板和上层板,所述在中层板是环路热管内部结构框架,所述上层板与下层板封装在一起,所述下层板开有凹槽,中层板包括蒸发室、冷凝室、汽相槽道、液相槽道和补偿室五个部件,蒸发室和冷凝室之间连接汽相槽道和液相槽道,补偿室连接蒸发室,中层板内嵌在下层板的凹槽中,中层板为PMMA材质框架,采用PMMA可批量生产框架,从而使得中层板的五个部件不需要在硅基板上刻蚀。本发明通过采用可批量生产内部结构框架,能够减少高精度加工刻蚀的重复性,因此,大大降低了超薄环路热管制造成本。