实现悬臂梁微谐振器频率调谐和频谱展宽的方法和装置-山东大学技术转移中心

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实现悬臂梁微谐振器频率调谐和频谱展宽的方法和装置

专利信息

专利权人：山东大学

第一发明人：刘铎

专利号：ZL202410256777.8

授权日：2024-5-24

专利类型：发明

国别：中国

专利简介

本发明涉及一种实现悬臂梁微谐振器频率调谐和频谱展宽的方法和装置,属于微机电系统调控技术领域,包括:S1:首先在探测电压下测得悬臂梁微谐振器前两阶弯曲模态的频率响应,确定本征频率;S2:在一阶弯曲模态处泵浦,实现二阶弯曲模态本征频率的调谐;S3:在一阶弯曲模态和红边带模态处同时泵浦,一阶弯曲模态和红边带模态发生非线性模态耦合,实现二阶弯曲模态的频谱展宽。本发明只需用信号发生器输出泵浦信号对微谐振器进行调制,就可以实现微谐振器共振频率的调谐和频谱展宽,原理性强,操作简便。

实现悬臂梁微谐振器频率调谐和频谱展宽的方法和装置

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专利权人	山东大学	第一发明人	刘铎
专利号	ZL202410256777.8	授权日	2024-5-24
专利类型	发明	国别	中国
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开放许可截止日期		单次许可期限
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