一种确定氮化镓器件沟道载流子温度的方法

专利信息

专利权人:山东大学

第一发明人:崔鹏

专利号:ZL202410324492.3

授权日:2024-5-31

专利类型:发明

国别:中国

专利简介

专利权人 山东大学 第一发明人 崔鹏
专利号 ZL202410324492.3 授权日 2024-5-31
专利类型 发明 国别 中国
所属领域 开放许可开始日期
开放许可截止日期 单次许可期限
许可费支付方式
本发明涉及一种确定氮化镓器件沟道载流子温度的方法,属于微电子技术领域,本发明提取计算不同环境温度下阈值电压漂移曲线和寄生源电阻漂移曲线,室温下不同源漏电压时饱和源漏电流的下降值和跨导值,代入公式中求解得到不同耗散功率下器件的沟道温度值,以此来表征器件工作时的自热效应,该提取方法可有效预测器件工作时的沟道温度,对器件的安全范围做出预期,减少可避免的器件退化及失效问题,延长器件寿命。沟道温度的有效预测也对优化器件结构和提高功率水平下器件的散热效率等方面具有一定的指导意义。