一种深紫外光限幅材料的制备方法及应用

专利信息

专利权人：山东大学

第一发明人：刘国伟

专利号：ZL202310036770.0

授权日：2024-6-7

专利类型：发明

国别：中国

专利简介

专利权人 山东大学 第一发明人 刘国伟
专利号 ZL202310036770.0 授权日 2024-6-7
专利类型 发明 国别 中国
所属领域 开放许可开始日期
开放许可截止日期 单次许可期限
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本发明公开了一种深紫外光限幅材料的制备方法及应用,制备方法如下:S1,称量氢氟酸,称量Ti

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