一种飞秒脉冲激光分步点烧蚀抛光方法及应用-山东大学技术转移中心

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一种飞秒脉冲激光分步点烧蚀抛光方法及应用

专利信息

专利权人：山东大学,山东大学深圳研究院

第一发明人：姚鹏

专利号：ZL202311816724.9

授权日：2024-6-7

专利类型：发明

国别：中国

专利简介

本发明提供了一种飞秒脉冲激光分步点烧蚀抛光方法及应用,飞秒激光以单点烧蚀的方式抛光材料,其加工的所有的烧蚀孔的直径一致,所有的烧蚀孔沿着X方向和Y方向依次排列,且所有相邻烧蚀孔的距离相等;烧蚀孔为分步去除,相邻两个烧蚀孔具有设定的加工时间间隔,当进行第二步抛光时,前一步的烧蚀孔已经完全冷却。同时,在X方向同一水平位置的多个烧蚀孔组成一行烧蚀区域,整个抛光区域包括多行烧蚀区域,每行烧蚀区域的加工方式均保持一致。本发明的抛光方法可以对单晶硅、金刚石、碳化硅、硬质合金等用于超精密加工、表面质量要求高的材料进行抛光加工。

一种飞秒脉冲激光分步点烧蚀抛光方法及应用

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专利权人	山东大学,山东大学深圳研究院	第一发明人	姚鹏
专利号	ZL202311816724.9	授权日	2024-6-7
专利类型	发明	国别	中国
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开放许可截止日期		单次许可期限
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